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ファブメイト アメリカ ポコ・グラファイト社が開発した超高純度のカーボングラファイトです。		スーパーＳｉＣ 焼結SiCと異なり、焼結材などのバインダーは一切使用していません。
ＳｉＣダミーウェーハ 耐熱、耐食性に優れ、ウェーハプロセスでの繰り返し使用ができます。

ＢＡＣＫ