特長/用途例 レーザ加熱実験 仕様 カタログ/お問合せ  
基本仕様

型番:EXL-CT-010-DS55
レーザ照射方式 ダイレクトタイプ 本体サイズ H 625mm ×W 700mm ×D 320mm
レーザ出力 最大 1kW 付属品 専用チラー
レーザ波長 808nm 定格 本体:1P200V20A
チラー:1P200V15A
レーザ形状 正方形
光学系(均一度) ホモジナイザ (±5%) 備考
JST独創モデル化
開発製品(H17年度)

加熱面積 □ 55mm
ワークディスタンス
400mm〜

※上記は基本仕様です。お客様のご要望により変更が可能です。
オプション

真空チャンバー    
       
温度制御ユニット   ・放射温度計
・デジタル指示調節計
・赤外線透過窓
       
基板ホルダー (2インチ基板用)
コンビナトリアル用光学系、専用基板ホルダー
(□10mm基板対応)
   
各種基板 (サファイア、シリコン、GaAs、 etc.)
※ご要望に応じて製作させていただきます
ワークテスト

弊社R&Dセンターにて有償でワークテストも可能です
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