| EXL-CT-010DS55を用い、真空チャンバー中に設置した試料をレーザー加熱。試料の裏面（レーザー照射面と反対側）から温度分布を測定した。 |
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| 1. サファイア基板 (φ2インチ) --- 透明基板への適用 |
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| 温度分布 |
急速昇温降温 |
サファイア基板の温度分布
（レーザ出力 : 1000W） |
サファイア基板の急速昇降温（平均基板温度）
（レーザ出力 : 1000W） |
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| 2. 温度傾斜 --- コンビナトリアル用光学系の使用 |
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| 温度分布 |
温度傾斜グラフ |
金属板の温度分布
（レーザ出力 : 86W 集光） |
金属板の温度傾斜 |
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